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當投審會收到申請案後，工業局將審查這項合併計畫，包括對台灣勞工就業保障、對台投資規劃以及對台灣半導體產業上下游整體綜效。工業局也期盼雙方能擴大對台投資。工業局金屬機電組副組長黃裕峯說
：『(原音)(雙方)有在考慮持續投資。就我們的立場，當然是希望它擴大投資。』
投審會則指出， 目前尚未收到艾斯摩爾的申請案，且此案還需經由漢微科股東臨時會同意後才生效，當正式遞案且文件齊備後，預計可在2個月內審查完畢。
工業局稍晚也表示，雙方過去合作時便已談到併購，艾司摩爾主力產品為半導體微影設備曝光機，漢微科則主攻檢測機，產品並不衝突，且在技術方面還能互補，併購後有助於未來半導體技術發 展。
荷蘭公司艾司摩爾(ASML)將收購台灣半導體公司漢微科，經濟部長李世光今天(16日)下午表示，台灣產業需要國際競爭力，且漢維科研發中心仍在台灣，不算出走。經濟部也在傍晚指出，兩家公司技術互補，待雙方遞件申請後，將針對國內員工就業保障、投資規劃及對半導體產業綜效等層面審查，並期盼雙方能擴大在台投資。
針對荷蘭公司艾司摩爾(ASML)將以現金溢價收購台灣股后半導體廠漢微科一事，經濟部長李世光16日下午受訪指出，漢微科研發中心仍根留台灣，不算出走，且政府認為產業需要國際競爭力。高雄小額借款
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工業局稍晚也表示，雙方過去合作時便已談到併購，艾司摩爾主力產品為半導體微影設備曝光機，漢微科則主攻檢測機，產品並不衝突，且在技術方面還能互補，併購後有助於未來半導體技術發 展。
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